电学温控探针台，4根简易的探针可手动进行操作。同时该设备可以创造一个气密空间，用以减少外部环境对样品的影响。

温控模块

制冷/加热方式

液氮制冷,电阻加热

温控范围

-196~300°C*

-196~600°C*

温度稳定性

±0.1°C

温度分辨率

0.1°C

升温速率

0~150°C/min (可定点/程序段控温)

温控方式

PID

温度传感器

PT100

光学特性

光路

反射/透射光路（可选反射或透射）

视窗材质

石英玻璃（可选各类材质）

视窗尺寸

φ40mm*

视窗厚度

1.5mm*

物镜工作距离

15mm*

透光孔

φ2mm*

电学特性

探针

移动探针模组x4 *,手动调整XYZ

探针行程

13mm

探针位移精度

1μm

探针接口

SMA 接口x4*

探针直径

10 / 50 / 100 μm*

样品台面电位

接地（默认接地）/电悬空/三同轴*（可定制）

结构特性

样品台尺寸

φ27mm*

样品台材质

铜质*

纯银*

外形尺寸

460x290x82mm*

样品腔高度

8.5mm*

腔室

气密

基本配置

探针冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、循环水系统x1、液氮罐2Lx1、温控软件

可选配

电脑主机/触控屏/安装支架/真空系统/显微镜/其他定制/电极接口/湿度系统

可提供

C#/Python/labview 开发包

备注

以上为默认参数  * 为可定制项

其他可选型号

按需求进行配置