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电学温控探针台
产品简介

HA300V-PB4、HA300V-PB4电学温控探针台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台,具有良好的真空性能和精准的温控系统。

产品型号:HA300V-PB4、HA400V-PB4
更新时间:2026-09-04
厂商性质:生产厂家
访问量:146
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HA300V-PB4、HA300V-PB4电学温控探针台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台,具有良好的真空性能和精准的温控系统。

HA300V-PB4、HA300V-PB4电学温控探针台参数表:

型号

HA300V-PB4

HA300V-PB4

温控模块

加热/制冷方式

电阻加热,液氮制冷

温控范围

-196~300°C*

-196~400°C*

温度稳定性

±0.1°C

温度分辨率

0.1°C

升温速率

0~60°C/min (可定点/程序段控温)

温控方式

PID

温度传感器

PT100

光学特性

光路

反射/透射光路(可选反射或透射)

视窗材质

石英玻璃(可选各类材质)

视窗尺寸

φ40mm*

视窗厚度

1.5mm*

物镜工作距离

15mm*

透光孔

φ2mm*

电学特性

探针

移动探针模组x4 *,手动调整XYZ

探针行程

13mm

探针位移精度

1μm

探针接口

SMA 接口x4*

探针直径

10 / 50 / 100 μm*

样品台面电位

接地(默认接地)/电悬空/三同轴*(可定制)

结构特性

样品台尺寸

φ27mm*

样品台材质

铜质*

纯银*

外形尺寸

460x290x82mm*

样品腔高度

8.5mm*

腔室

真空

基本配置

探针冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、液氮罐2Lx1、温控软件

可选配

电脑主机/触控屏/安装支架/真空系统/显微镜/其他定制/电极接口

可提供

C#/Python/labview 开发包

备注

以上为默认参数  * 为可定制项

其他可选型号

按需求进行配置

 

 


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