HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P探针冷热台(电学温控探针台)是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品,这款探针冷热台热台拥有高精度的探针位移平台，良好的气密性能和精准的温控系统。

Name: 电学温控探针台MHS300G-4P、MHS600G-4P
Availability: InStock

产品型号：MHS300G-4P、MHS600G-4P

更新时间：2026-08-24

厂商性质：生产厂家

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HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P探针冷热台(电学温控探针台)是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品,这款探针冷热台热台拥有高精度的探针位移平台，良好的气密性能和精准的温控系统。

HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P探针冷热台(电学温控探针台)部分参数：
1.温度范围： -196℃~600℃
2.加热区： φ27mm
3.探针行程： 13mm
4.探针位移精度 1μm
5.探针针尖直径（默认） 100μm
6.物镜工作距离： 15mm
7.通光孔直径： 2mm
8.最大升温速率： 0~150℃/min

HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P探针冷热台(电学温控探针台)参数表：

分类	项目	MHS300G‑4P	MHS600G‑4P
温控模块	制冷 / 加热方式	液氮制冷，电阻加热	液氮制冷，电阻加热
	温控范围	-196~300℃*	-196~600℃*
	温度稳定性	±0.1℃	±0.1℃
	温度分辨率	0.1℃	0.1℃
	最大升温速率	0‑150℃/min (可定点 / 程序段控温)	0‑150℃/min (可定点 / 程序段控温)
	温控方式	PID	PID
	温度传感器	PT100	PT100
光学特性	光路	反射透射光路（可选）	反射透射光路（可选）
	视窗材质	石英玻璃 *	石英玻璃 *
	视窗尺寸	φ40mm*	φ40mm*
	视窗厚度	0.5mm*	0.5mm*
	物镜工作距离	15mm*	15mm*
	透光孔	φ2mm*	φ2mm*
电学特性	探针	移动探针模组 ×4*，手动调整 XYZ	移动探针模组 ×4*，手动调整 XYZ
	探针行程	13mm	13mm
	探针位移精度	1μm	1μm
	探针接口	SMA 接口 ×4*	SMA 接口 ×4*
	探针直径	10 / 50 / 100μm*	10 / 50 / 100μm*
	样品台面电位	接地（默认接地）电悬空 / 三同轴（可选）	接地（默认接地）电悬空 / 三同轴（可选）
结构特性	样品台尺寸	φ27mm*	φ27mm*
	样品台材质	铜质 *	纯银 *
	外形尺寸	460×290×82mm*	460×290×82mm*
	样品腔高度	12mm*	12mm*
	腔室	气密	气密
基本配置		冷热台 x1、温控系统 x1、低温系统 x1、液氮罐 2Lx1、循环水系统 x1、温控软件	冷热台 x1、温控系统 x1、低温系统 x1、液氮罐 2Lx1、循环水系统 x1、温控软件
选配		电脑主机 / 平板电脑 / 触控屏 / 安装支架 / 真空系统 / 其他定制	电脑主机 / 平板电脑 / 触控屏 / 安装支架 / 真空系统 / 其他定制
备注		以上为默认参数 * 为可定制项	以上为默认参数 * 为可定制项
其他可选型号		按需求进行配置	按需求进行配置