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光学冷热台 显微镜 光谱仪 拉曼 自建光路HA800G-PB4、HA1000G-PB4探针高温热台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台,具有良好的气密性能和精准的温控系统。
光学冷热台 显微镜 光谱仪 拉曼 自建光路:
型号 | HA800G-PB4 | HA1000G-PB4 | |
温控模块 | 加热方式 | 电阻加热 | |
温控范围 | RT~800°C* | RT~1000°C* | |
温度稳定性 | ±0.1°C | ||
温度分辨率 | 0.1°C | ||
升温速率 | 0~40°C/min (可定点/程序段控温) | ||
温控方式 | PID | ||
温度传感器 | 热电偶 | ||
光学特性 | 光路 | 反射/透射光路(可选反射或透射) | |
视窗材质 | 石英玻璃(可选各类材质) | ||
视窗尺寸 | φ40mm* | ||
视窗厚度 | 1mm* | ||
物镜工作距离 | 14.5mm* | ||
透光孔 | φ2mm* | ||
电学特性 | 探针 | 移动探针模组x4 *,手动调整XYZ | |
探针行程 | 13mm | ||
探针位移精度 | 1μm | ||
探针接口 | SMA 接口x4* | ||
探针直径 | 10 / 50 / 100 μm* | ||
样品台面电位 | 接地(默认接地)/电悬空/三同轴*(可定制) | ||
结构特性 | 样品台尺寸 | φ15mm* | |
样品台材质 | 陶瓷* | ||
外形尺寸 | 460x290x82mm* | ||
样品腔高度 | 8.5mm* | ||
腔室 | 气密 | ||
基本配置 | 探针台x1、温控系统x1、温控软件 | ||
可选配 | 电脑主机/触控屏/安装支架/真空系统/显微镜/其他定制/电极接口 | ||
可提供 | C#/Python/labview 开发包 | ||
备注 | 以上为默认参数 * 为可定制项 | ||
其他可选型号 | 按需求进行配置 | ||