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HA800V-PB4、HA1000V-PB4光谱仪冷热台/探针冷热台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台,具有良好的真空性能和精准的温控系统。
HA800V-PB4、HA1000V-PB4光谱仪冷热台/探针冷热台参数表:
| 型号 | HA800V-PB4 | HA1000V-PB4 | |
| 温控模块 | 加热方式 | 电阻加热 | |
| 温控范围 | RT~800°C* | RT~1000°C* | |
| 温度稳定性 | ±0.1°C | ||
| 温度分辨率 | 0.1°C | ||
| 升温速率 | 0~40°C/min (可定点/程序段控温) | ||
| 温控方式 | PID | ||
| 温度传感器 | 热电偶 | ||
| 光学特性 | 光路 | 反射/透射光路(可选反射或透射) | |
| 视窗材质 | 石英玻璃(可选各类材质) | ||
| 视窗尺寸 | φ40mm* | ||
| 视窗厚度 | 1.5mm* | ||
| 物镜工作距离 | 15mm* | ||
| 透光孔 | φ2mm* | ||
| 电学特性 | 探针 | 移动探针模组x4 *,手动调整XYZ | |
| 探针行程 | 13mm | ||
| 探针位移精度 | 1μm | ||
| 探针接口 | SMA 接口x4* | ||
| 探针直径 | 10 / 50 / 100 μm* | ||
| 样品台面电位 | 接地(默认接地)/电悬空/三同轴*(可定制) | ||
| 结构特性 | 样品台尺寸 | φ15mm* | |
| 样品台材质 | 陶瓷* | ||
| 外形尺寸 | 460x290x82mm* | ||
| 样品腔高度 | 8.5mm* | ||
| 腔室 | 真空 | ||
| 基本配置 | 探针台x1、温控系统x1、、温控软件 | ||
| 可选配 | 电脑主机/触控屏/安装支架/真空系统/显微镜/其他定制/电极接口 | ||
| 可提供 | C#/Python/labview 开发包 | ||
| 备注 | 以上为默认参数 * 为可定制项 | ||
| 其他可选型号 | 按需求进行配置 | ||